ＵＬＶＡＣ

第2FPD事業部は、これら新しいディスプレイの表示パネルや、クリーンエネルギーを標榜し急成長を遂げる太陽電池パネルなどの製造工程で、基板上に薄膜 形成する装置の開発・製造を担っています。特に、液晶用の透明電導膜を形成するスパッタリング装置、及び、PDP用MgO保護膜を形成する電子ビーム蒸着 装置は、市場が年々拡大する中、世界のトップシェアを堅持しています。
２ｍを超える大型ガラス基板が連続で搬送、成膜処理されていく、そんな第２FPD事業部のインライン式装置の技術を目の当たりにすればあなたの真空装置のイメージは一変するはず。
テレビの画面サイズが大きくなるに従い、ガラス基板のサイズもさらに拡大しようとしています。これまでの延長線上の技術では対応できないところまで大型化 が進んでおり、プロセス、ハード共に新しい技術の開発が急務となっています。